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硅片检测
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MatrixSolar·石墨舟检测设备

预处理+视觉检测,减少人工参与,节省人工成本;

搭配自动化,降低人工作业难度,节省管理成本;

实时监测,避免不良片流入后道工序, 减少返工,提高产能;

提前检测,避免大批量碎片产生,节省损耗成本;

实时监测舟状态,辅助人员舟维护,节省维护成本;


掉片


舟底碎片


翘片

产品规格
物料能力
硅片尺寸 156~230mm
检测缺陷 翘片、掉片、舟面异物、舟槽内双片、舟槽内少片、
舟内 破片,舟叶变形,舟叶破损,陶瓷杆松动等
设备*
供电 220VAC±10%,16A,50/60Hz
安装位置 PE段管式镀膜炉
通讯要求 IO/tcp协议
检测能力*
运行模式 在线检测,全检或抽检
拍照方式 面阵或线阵
检测节拍 ≤0.6s/次
Uptime ≥99.5%,计算方式:[1-(维护+维护时间)/总时间]*100%
检测节拍 误检率:≤0.02%(良率大于95%以上)
漏检率:≤0.02%(良率大于95%以上)
辅助功能 检测结果可上传MES系统

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