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硅片检测
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MatrixSolar·HJT-PL检测系统

硅片隐裂检测是在线监测硅片内部缺陷的有效方式。

ag真人国际官网科技采用实时在线检测方式,加快了整体检测效率;减少人工目视检查造成的误判和漏检,分段控制避免不良品流入后段影响整体良率。

产品特点
01
独立式隐裂碎片检测模块,可选配踢料结构
02
全定制光学系统,质量可靠,成像质量更佳
03
高效率AI算法,单片算法时间<200ms
04
软件支持一拖二双通道同时运行,在降低成本的同时提高生产效率
05
采用落地式龙门架方式,节省安装空间,宽度最低只需200mm
产品规格
物料能力
支持产品 原硅片、PE前制程片
产品尺寸:≤230mm
产品外观尺寸 L450(mm)*W150(mm)*H520(mm),高度按线体环境调节
检测功能*
检测内容 隐裂、崩边缺角、针孔、黑点、片放反,线痕等
自动检测 AI全自动在线精准检测,无需人工复判
数据统计 直观便捷提供可视化量化数据,帮助客户完善工艺
检测能力*
产能 >7200pcs/h
检测效率 <200ms/pcs
Uptime ≥99.9%,计算方式:[1-(维护+维修时间)/总时间]*100%
最高检测精度 70um
准确性 误检率:≤0.03%
漏检率:≤0.01%
检测良率:≥95%,漏检数量/检测总量,10000片以上

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