Provide optimal industrial AI solutions
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3D+2D精密量测检测,兼容多尺寸、Lead、Ball、Pad/LGA
Mark检查,兼容印字、油墨、激光刻印的字符或标记检查
支持芯片6个表面60+种关键尺寸和缺陷检测
适用所有类型芯片6S尺寸、缺陷、字符等,出货前全检
丰富的打光成像模式,真实的还原3D形貌
3D/2D高解析度测量与数据分析系统,快速准确的提升芯片后道工艺制程
7*24稳定保证生产使用,系统具有自学习能力,兼容扩展性强
针对半导体芯片关键参数量测、关键缺陷检测
3D/2D高解析度测量技术、高速的数据处理和分析
快速识别Pin1和芯片安装方向
兼容不同类型多种尺寸编带包装及检查
品质管理系统,快速分析制程,及时改善工艺制程
UI易操作,检测功能可灵活选用
物料能力 | |
支持产品 | QFN/MLP, BGA, QFP, CSP, MSOP, TSSOP,SOIC |
产品尺寸 | Minimum: 3 x 3 mm , Maximum: 80 x 80 mm |
检测能力* | |
2D量测精度 | +/-3μm |
2D检测精度 | 3*3像素 |
3D量测精度 | +/-5μm |
产率 | UPH =34k@chip size 10mm╳10mm |
检测功能* | ||
正面 | 印字检测 | 错字、漏盖、偏移、模糊、刮伤、缺划/脱落/重印等 |
表面检测 | 刮伤、污迹/异物残留、裂痕、破损、凹陷、溢胶等 | |
芯片检测 | 芯片安装方向 | |
管脚检查 | 管脚检查、管脚横跨、尺寸异常 | |
背面 | 锡球检测 | 锡球内径、质量、明睹、间距、高度、裂痕等 |
管脚检测 | 管脚长度、间距、宽度、歪斜、变形/毛刺等 | |
侧边 | QFN检测 | 空隙、孔洞、焊垫宽度、长度、间距、偏移、溢胶等 |
兼容尺寸存在较大差异的产品, 3D+2D精密量测检测
完美适应通用密封性检查
支持芯片6个表面60+种关键尺寸和缺陷检测
通过检查芯片上的mark,来确认芯片是否漏装
检查卷带上的缺陷,划伤、脏污、异物等
3D/2D高解析度测量与数据分析系统,快速准确的提升芯片后道工艺制程
7*24稳定保证生产使用,系统具有自学习能力,兼容扩展性强
兼容更小尺寸的产品,最小支持至3mm
UPH更高,检测精度更高
支持视野倍率切换,兼容尺寸存在较大差异的产品
兼容不同类型多种尺寸编带包装及检查
品质管理系统,快速分析制程,及时改善工艺制程
UI易操作,检测功能可灵活选用
物料能力 | |
支持产品 | QFN/MLP, BGA, QFP, CSP, MSOP, TSSOP,SOIC |
产品尺寸 | Minimum:3 x 3 mm , Maximum: 80 x 80 mm |
检测能力* | |
2D量测精度 | +/-3μm |
2D检测精度 | 3*3像素 |
3D量测精度 | +/-5μm |
产率 | UPH =34k@chip size 10mm╳10mm |
检测功能* | ||
正面 | 印字检测 | 错字、漏盖、偏移、模糊、刮伤、缺划/脱落/重印等 |
表面检测 | 刮伤、污迹/异物残留、裂痕、破损、凹陷、溢胶等 | |
背面 | 锡球检测 | 锡球内径、质量、明睹、间距、高度、裂痕等 |
管脚检测 | 管脚长度、间距、宽度、歪斜、变形/毛刺等 | |
侧边 | QFN检测 | 空隙、孔洞、焊垫宽度、长度、间距、偏移、溢胶等 |
编带前 | 错字、叠料检测、划伤、字符清晰度、空包 | |
编带后 | 盖载带偏移、封痕异物及白点检测、不均匀的密封、封面胶带检测 |
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